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材料
砷化銦InAs單晶基片
發布時間 : 2020-06-17 瀏覽次數 : 8098

  

砷化銦InAs單晶基片作為襯底,不僅可以生長InAsSb/In-AsPSb、InNAsSb等異質結材料,用來制作波長范圍為2~14μm的紅外發光器件,還可以外延生長AlGaSb超晶格結構材料,制作中紅外量子級聯激光器。紅外發光器件和紅外激光器在氣體監測、低損耗光纖通信等領域有非常好的應用前景。InAs單晶同時具有很高的電子遷移率,也是一種制作Hall器件的理想材料。

 

生長方法

液封提拉法LEC

晶體結構

立方

晶格常數(nm)

0.606

晶向

<100>、<110>、<111>±0.5o、或特殊方向

摻雜程度

摻雜元素

不摻雜

摻Sn

摻Zn

摻S

導電類型

N

N

P

N

帶隙(eV)

0.354

電阻率(Ω·cm)





遷移率(cm2/(v·s))

2×104

>2000

100-300

>2000

載流子密度(/cm3

5×1016

(5-20)×1017

(1-20)×1017

(1-10)×1017

位錯密度(EPD(/cm2

<5×104

尺寸

Φ2″×0.5mm、Φ3″×0.5mm,可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸

表面

單拋片、雙拋片或切割片

厚度(um)

500,厚度公差+-10um,可定制

TTV (Total Thickness

Variation)


TIR (Total Indicated

Reading)


Bow


Warp


包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室

 



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